faaeletonikakasa fa'apitoao se lala taua o kasa faapitoa. Latou te tuʻia toetoe lava o soʻotaga uma o le gaosiga o semiconductor ma e manaʻomia mo le gaosiga o pisinisi faʻaeletoroni e pei o le ultra-large-scale integrated circuits, masini faʻaaliga faʻapipiʻi, ma sela sola.

I tekinolosi semiconductor, o kasa o loʻo i ai le fluorine e faʻaaogaina lautele. I le taimi nei, i le maketi o le kesi eletise i le lalolagi atoa, o kasa eletise o loʻo i ai le fluorine e tusa ma le 30% o le aofaʻi. O kasa eletise o loʻo i ai le fluorine o se vaega taua o kasa faʻaeletoroni faʻapitoa i le fanua o mea faʻamatalaga faʻaeletoroni. E masani ona faʻaaogaina e avea ma mea e faʻamamā ai ma faʻamalo, ma e mafai foi ona faʻaaogaina e fai ma dopants, mea e fai ata tifaga, ma isi. I lenei tusiga, o le a ave oe e le tusitala ia malamalama i kasa masani o loʻo i ai le fluorine.

O mea nei e masani ona fa'aaogaina kasa e iai le fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): O se kesi e faʻaaogaina mo le faʻamamaina ma le aveeseina o tupe teu, e masani ona faʻaaogaina mo le faʻamamāina o potu tali ma luga o meafaigaluega.

Sulfur hexafluoride (SF6): O se vaila'au fa'amalama e fa'aaogaina i fa'agasologa o le fa'a'ese'ese ma avea ma kesi fa'amama mo le fa'atumuina o ala o fa'asalalauga.

Hydrogen fluoride (HF): Fa'aaoga e aveese ai oxides mai le silicon surface ma avea ma etchant mo le etching silicon ma isi mea.

Nitrogen fluoride (NF): Faʻaaogaina e togi ai mea e pei o le silicon nitride (SiN) ma le alumini nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) matetrafluoromethane (CF4): Fa'aaogaina e fa'asolo ai mea fa'apipi'i e pei o le fa'a'oloa kaisa ma le fa'aluma alumini.

Ae ui i lea, o kasa o loʻo i ai le fluorine e iai a latou lamatiaga, e aofia ai le oona, pala, ma le mu.

Oona

O nisi kasa e iai le fluorine e oona, e pei o le hydrogen fluoride (HF), o lona ausa e matua afaina ai le pa'u ma le manava ma e afaina ai le soifua maloloina o tagata.

A'a

O le hydrogen fluoride ma nisi o fluoride e sili ona pala ma e mafai ona afaina ai le paʻu, mata ma le manava.

Mumu

O nisi fluoride e mu ma fe'avea'i ma le okesene po'o le vai i le ea e fa'asa'oloto ai le vevela tele ma kasa oona, e ono mafua ai le afi po'o le pa.

Tulaga lamatia maualuga

O nisi kasa fluorinated e papa i lalo o le mamafa ma e mana'omia le tausiga fa'apitoa pe a fa'aoga ma teu.

Aafiaga i le siosiomaga

O kasa o lo'o i ai le fluorine e maualuga le ola o le ea ma le GWP, lea e i ai se aafiaga fa'aleagaina i luga o le osone ea ma e ono mafua ai le vevela o le lalolagi ma le fa'aleagaina o le siosiomaga.

O le faʻaogaina o kasa i faʻalapotopotoga o loʻo tulaʻi mai e pei o mea tau eletise o loʻo faʻaauau pea ona faʻalolotoina, ma aumaia ai le tele o manaʻoga fou mo kesi fale gaosi oloa. Faʻavae i luga o le tele o le gaosiga fou gafatia o mea faʻaeletoroni tetele e pei o semiconductor ma faʻaaliga panels i le atunuu tele o Saina i nai tausaga o lumanaʻi, faʻapea foʻi ma le manaʻoga malosi mo le faʻaulufaleina mai o mea e faʻaaogaina vailaʻau faʻaeletoroni, o le a faʻafeiloaʻi e le fale gaosi oloa eletise eletise. maualuga le tuputupu ae.