Le tele o le faʻaaogaina o le eletise faʻapitoa kesi - Nitrogen trifluréde

Masani symsorine-aofia faʻapitoa eletise eletise aofia aisulfur hexaflury (sf6), tungsten hexaflurey (WF6),Carbon Turafluride (CF4), triflumoromethane (chf3), arrogen trifluner (NF3), Hexluoroewne (C2FOCOMPRAND (C3F8).

Faatasi ai ma le atinaeina o Nanoteso ma le tele-atinaʻeina o le eletise eletise, o le a siʻitia ai lona manaʻoga i lea aso ma lea lava aso. NITROGEN TRIFELORDID, o se mea taua ma le tele-tele-faʻaaogaina le kesi o le eletise faʻapitoa i le gaosiga ma le gaosiga o panels ma semictonductors, e iai le lautele maketi.

O se ituaiga o le flurine-aofia ai le kesi faapitoa,Nitrogen Triflurteide (nf3)o le faʻaeletonika faʻapitoa oloa kesi ma le sili ona tele maketi. O le vailaau o le fale faigaluega i potu vevela, sili atu le malosi nai lo le okesene i le vevela maualuga, sili atu mautu, ma faigofie ona taulimaina. Nitrogen Trifluride o loʻo faʻaaogaina tele o le Plasma etching kesi ma se tali o le potu mama, ma e talafeagai mo le gaosiga o le a pamu, ma isi mea.

Faatusatusa i isi fluorine-aofia ai le eletise eletise,nitrogen trifluridei ai le lelei o le tali vave ma le lelei atoatoa. Aemaise i le etcheling o le siliva-o loʻo i ai ni mea e pei o le silikis gitride, o loʻo i ai le maualuga o le fua faatatau ma le filifilia, e leai se mea o totoe i luga o le mea faitino. O se mataua lelei mama ma le leai sona filogia i luga, lea e mafai ona faʻamalieina ai manaʻoga o le faʻagaioiga o gaioiga.