O kasa eletise faapitoa e iai le fluorine e aofia aisulfur hexafluoride (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),kaponi tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ma le octafluoropropane (C3F8).
Faatasi ai ma le atina'eina o le nanotechnology ma le atina'eina tele o le alamanuia eletise, o le a fa'ateleina lona mana'oga i lea aso ma lea aso. O le Nitrogen trifluoride, o se kesi eletise fa'apitoa e sili ona taua ma sili ona fa'aaogaina i le gaosiga ma le fa'agasologaina o paneli ma semiconductors, e lautele lona avanoa i le maketi.
I le avea ai o se ituaiga kasa faapitoa e iai le fluorine,naitorosene trifluoride (NF3)O le oloa kesi fa'apitoa fa'aeletoronika e sili ona tele lona gafatia i le maketi. E le gaoioi fa'akemikolo i le vevela o le potu, e sili atu lona malosi nai lo le okesene i le vevela maualuga, e sili atu lona mautu nai lo le fluorine, ma faigofie ona taulimaina. O le Nitrogen trifluoride e masani ona fa'aaogaina o se kesi e fa'amama ai le plasma ma se vaila'au fa'amama o le potu tali atu, ma e talafeagai mo le gaosiga o semiconductor chips, flat panel displays, optical fibers, photovoltaic cells, ma isi.
Pe a faʻatusatusa i isi kasa eletise o loʻo i ai le fluorine,naitorosene trifluorideE iai ona lelei o le vave o le tali atu ma le maualuga o le lelei. Aemaise lava i le vaneina o mea o loʻo i ai le silicon e pei o le silicon nitride, e maualuga lona fua faatatau o le vaneina ma le filifiliga, e leai se toega e totoe i luga o le mea ua vaneina. O se mea faʻamamā lelei tele foʻi ma e leai se faʻaleagaina o le luga, lea e mafai ona faʻafetaui ai manaʻoga o le faʻagasologa o le faʻagasologa.
Taimi na lafoina ai: Setema-14-2024
