I le gaosiga o gaosiga o semiconductor wafer foundries faʻatasi ai ma faʻagasologa o gaosiga o gaosiga, toetoe lava 50 ituaiga eseese o kasa e manaʻomia. E masani ona vaevaeina kasa i kasa tetele makasa fa'apitoa.

Faʻaaogaina o kasa i microelectronics ma semiconductor alamanuia O le faʻaaogaina o kesi e masani lava ona i ai se sao taua i faiga faʻaogaina, aemaise lava faʻagasologa semiconductor e faʻaaogaina lautele i pisinisi eseese. Mai le ULSI, TFT-LCD i le pisinisi micro-electromechanical (MEMS) o loʻo i ai nei, o loʻo faʻaogaina faiga semiconductor e avea ma gaosiga o oloa gaosi, e aofia ai le faʻamagoina o le faʻamago, faʻamaʻi, faʻapipiʻi ion, faʻamaʻi ata tifaga, ma isi.

Mo se faʻataʻitaʻiga, o le toʻatele o tagata e iloa o tupe meataalo e faia i le oneone, ae o le vaʻavaʻai i le faagasologa atoa o le gaosiga o chip, e manaʻomia le tele o mea, e pei o le photoresist, faʻafefe vai, mea faʻatatau, kesi faʻapitoa, ma isi mea e manaʻomia. E manaʻomia foʻi mea faʻapipiʻi pito i tua, mea faʻapipiʻi, mea faʻapipiʻi, faʻavaa taʻitaʻi, mea faʻapipiʻi, ma isi mea eseese. O kasa fa'aeletoroni fa'apitoa o le mea lona lua sili ona tele i tau o le gaosiga o semiconductor pe'a mae'a fa'ama'i kaka, soso'o ai ma masks ma photoresists.

O le mama o le kesi o loʻo i ai se aafiaga taua i le faʻatinoga o vaega ma le gaosiga o oloa, ma o le saogalemu o le sapalai o le kesi e fesoʻotaʻi ma le soifua maloloina o tagata faigaluega ma le saogalemu o le fale gaosimea. Aisea e i ai se aafiaga tele o le mama o le kesi i luga o le laina faagasologa ma tagata faigaluega? E le o se fa'ateleina, ae e fa'amoemoeina e uiga mata'utia o le kesi lava ia.

Fa'avasegaina o kasa masani i totonu ole alamanuia semiconductor

Kasa masani

O le kasa masani e taʻua foi o le kasa tele: e faʻatatau i le kesi fale gaosi oloa ma se manaʻoga mama i lalo ifo o le 5N ma le tele o gaosiga ma faʻatau oloa. E mafai ona vaevaeina i le ea vavae ese kesi ma synthetic gas e tusa ai ma auala eseese sauniuniga. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), okesene (O2), argon (A2), ma isi;

Kesi Fa'apitoa

O le kesi fa'apitoa e fa'atatau i kesi fa'apisinisi o lo'o fa'aogaina i vaega fa'apitoa ma e iai mana'oga fa'apitoa mo le mama, ituaiga, ma meatotino. Aemaise lavaSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ma faapena atu ai lava.

Ituaiga o kasa faapitoa

Ituaiga o kasa fa'apitoa: pala, o'ona, mu, fa'amumu-lagolagoina, inert, ma isi.
O kasa semiconductor e masani ona fa'aaogaina e fa'avasegaina e pei ona ta'ua i lalo:
(i) A'a/o'ona:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2.BCl3…
(ii) Mumu: H2,CH4、SiH4、PH3, AshH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Mu: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Leaga: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2,Ne、Kr、O ia…

I le faagasologa o le gaosiga o chip semiconductor, e tusa ma le 50 ituaiga eseese o kasa faapitoa (ua taʻua o kasa faʻapitoa) o loʻo faʻaaogaina i le faʻamaʻiina, faʻasalalau, faʻapipiʻi, etching, tui, photolithography ma isi faʻagasologa, ma le aofaʻi o laasaga o laasaga e sili atu i le selau. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le PH3 ma le AsH3 o loʻo faʻaaogaina e pei o le phosphorus ma arsenic i le faʻaogaina o le ion implantation, F-faʻavae kasa CF4, CHF3, SF6 ma halogen gases CI2, BCI3, HBr e masani ona faʻaaogaina i le faiga etching, SiH4, NH3, N2O i. le faagasologa o ata tifaga, F2/Kr/Ne, Kr/Ne i le faagasologa photolithography.

Mai vaega o loʻo i luga, e mafai ona tatou malamalama o le tele o kasa semiconductor e afaina ai le tino o le tagata. Aemaise lava, o nisi o kasa, e pei o le SiH4, e faʻamumuina e le tagata lava ia. O le a lava le taimi latou te liki ai, o le a latou gaoioi malosi i le okesene i le ea ma amata ona mu; ma le AsH3 e sili ona oona. Soʻo se laʻititi laʻititi e ono afaina ai olaga o tagata, o le mea lea e sili atu le maualuga o manaʻoga mo le saogalemu o le faʻaogaina o le faʻaogaina o kasa faʻapitoa.

Semiconductors e manaʻomia kasa mama maualuga e maua ai le "tolu tikeri"

Kasa mama

O mea o loʻo i totonu o le siosiomaga le mama i totonu o le kesi e masani ona faʻaalia o se pasene o le mama mama, pei o le 99.9999%. I se tulaga lautele, o le mama e manaomia mo kasa faapitoa faaeletonika e oo atu i le 5N-6N, ma o loo faaalia foi i le fua faatatau o le voluma o le siosiomaga eleelea ppm (vaega i le miliona), ppb (vaega i le piliona), ma le ppt (vaega i le trillion). O le eletise semiconductor fanua o loʻo i ai le maualuga o manaʻoga mo le mama ma le faʻamautuina lelei o kasa faʻapitoa, ma o le mama o kasa faʻapitoa faʻaeletoroni e masani ona sili atu nai lo le 6N.

mago

O mea o lo'o i totonu o le vai i totonu o le kesi, po'o le susu, e masani ona fa'aalia i le sau, e pei o le sau o le ea -70℃.

Mama

Ole numera o mea fa'aleaga i totonu ole kesi, o mea'ai e iai le lapo'a o le µm, o lo'o fa'aalia i le aofa'i o vaega/M3. Mo le ea faʻamalosi, e masani ona faʻaalia i le mg / m3 o toega mautu e le maalofia, lea e aofia ai le suauʻu.