I le faagasologa o le gaosiga o fale gaosi semiconductor wafer ma faiga gaosiga e matua alualu i luma, e toetoe lava 50 ituaiga eseese o kasa e manaʻomia. E masani ona vaevaeina kasa i ni kasa tetele makasa faapitoa.

Fa'aaogāina o kasa i pisinisi microelectronics ma semiconductor O le fa'aaogāina o kasa e taua tele i taimi uma i faiga semiconductor, aemaise lava faiga semiconductor e fa'aaogā lautele i le tele o pisinisi. Mai le ULSI, TFT-LCD i le pisinisi micro-electromechanical (MEMS) o lo'o iai nei, o faiga semiconductor e fa'aaogāina o ni faiga gaosi oloa, e aofia ai le dry etching, oxidation, ion implantation, thin film deposition, ma isi mea fa'apena.

Mo se faʻataʻitaʻiga, e toʻatele tagata e iloa o fasi mea e faia i le oneone, ae a vaʻavaʻai i le faagasologa atoa o le gaosiga o fasi mea, e manaʻomia nisi meafaitino, e pei o le photoresist, polishing liquid, target material, special gas, ma isi mea e matuā tāua tele. O le backend packaging e manaʻomia ai foʻi substrates, interposers, lead frames, bonding materials, ma isi mea eseese. O electronic special gases o le mea lona lua lea e sili ona tele i tau o le gaosiga o semiconductor pe a uma le silicon wafers, sosoo ai ma masks ma photoresists.

E iai le aafiaga tele o le mama o le kesi i le faʻatinoga o vaega ma le fua o oloa, ma o le saogalemu o le sapalai o le kesi e fesoʻotaʻi ma le soifua maloloina o tagata faigaluega ma le saogalemu o le faʻagaioiga o le falegaosimea. Aiseā e iai ai se aafiaga tele o le mama o le kesi i le laina o le faʻagasologa ma tagata faigaluega? E le o se faʻatelega lenei, ae e fuafua i uiga mataʻutia o le kesi lava ia.

Fa'avasegaga o kasa masani i le alamanuia semiconductor

Kasa Masani

O le kesi masani e ta'ua fo'i o le kesi tele: e fa'atatau i le kesi fa'apisinisi e maualalo ifo le mama i le 5N ma e tele le gaosiga ma le fa'atauina atu. E mafai ona vaevaeina i le kesi vavae'ese o le ea ma le kesi fa'apitoa e tusa ai ma auala eseese e saunia ai. Haidrokene (H2), naitorosene (N2), okesene (O2), argon (A2), ma isi;

Kasa Fa'apitoa

O le kesi fa'apitoa e fa'atatau i kesi fa'apisinisi e fa'aaogaina i vaega fa'apitoa ma e iai mana'oga fa'apitoa mo le mama, eseese, ma meatotino.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ma faapena atu ai lava.

Ituaiga o kasa fa'apitoa

O ituaiga o kasa faapitoa: 'a'ai, oona, mu gofie, lagolago i le mu, le gaoioi, ma isi mea faapena.
O kasa semiconductor e masani ona faʻaaogaina e faʻavasegaina e pei ona taua i lalo:
(i) E 'a'ai/o'ona:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) E mu gofie: H2、CH4、SiH4、PH3, AshH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Mea e mu: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Le gaoioi: N2、CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、Kr、O ia…

I le faagasologa o le gaosiga o semiconductor chip, e tusa ma le 50 ituaiga eseese o kasa faapitoa (e ta'ua o kasa faapitoa) e fa'aaogaina i le oxidation, diffusion, deposition, etching, injection, photolithography ma isi faagasologa, ma o le aofa'i o la'asaga o le faagasologa e sili atu i le selau. Mo se fa'ata'ita'iga, o le PH3 ma le AsH3 e fa'aaogaina o ni puna o le phosphorus ma le arsenic i le faagasologa o le ion implantation, o kasa e fa'avae i luga o le F CF4, CHF3, SF6 ma kasa halogen CI2, BCI3, HBr e masani ona fa'aaogaina i le faagasologa o le etching, SiH4, NH3, N2O i le faagasologa o le deposition film, F2/Kr/Ne, Kr/Ne i le faagasologa o le photolithography.

Mai itu ua taua i luga, e mafai ona tatou malamalama o le tele o kasa semiconductor e afaina ai le tino o le tagata. Ae maise lava, o nisi o kasa, e pei o le SiH4, e mu e ia lava. Afai e tafe ifo, o le a latou tali atu ma le malosi ma le okesene i le ea ma amata ona mu; ma o le AsH3 e matua oona lava. Soʻo se tafe itiiti e ono afaina ai olaga o tagata, o lea e matua maualuga lava manaʻoga mo le saogalemu o le mamanu o le faiga faʻatonutonu mo le faʻaaogaina o kasa faʻapitoa.

E manaʻomia e semiconductors ia kasa mama maualuga ia i ai le "tolu tikeri"

Mamā o le kasa

O le aofaʻi o le ea leaga i totonu o le kesi e masani ona faʻaalia o se pasene o le mama o le kesi, e pei o le 99.9999%. I se tulaga lautele, o le manaʻoga mama mo kesi faʻapitoa eletise e oʻo atu i le 5N-6N, ma e faʻaalia foʻi e le fua faʻatatau o le aofaʻi o le ea leaga ppm (vaega i le miliona), ppb (vaega i le piliona), ma le ppt (vaega i le tiliona). O le fanua o semiconductor eletise e sili ona maualuga manaʻoga mo le mama ma le mautu o le lelei o kesi faʻapitoa, ma o le mama o kesi faʻapitoa eletise e masani ona sili atu i le 6N.

Mago

O le aofaʻi o sina vai itiiti i totonu o le kesi, poʻo le susu, e masani ona faʻaalia i le dew point, e pei o le atmospheric dew point -70℃.

Mamā

O le aofaʻi o vaega faʻaleagaina i totonu o le kesi, o vaega e iai le lapoʻa o le vaega e µm, e faʻaalia i le aofaʻi o vaega/M3. Mo le ea faʻapipiʻi, e masani ona faʻaalia i le mg/m3 o toega malo e le mafai ona ʻalofia, e aofia ai le aofaʻi o le suāuu.