Epitaxial (tuputupu aʻe)Ga Fefilois

I le alamanuia semiconductor, o le kesi e faʻaaogaina e faʻatupuina ai le tasi pe sili atu vaega o meafaitino e ala i le faʻaputuina o le ausa vailaʻau i luga o se mea ua filifilia ma le faʻaeteete e taʻua o le kesi epitaxial.

O kasa epitaxial silicon e masani ona faʻaaogaina e aofia ai le dichlorosilane, silicon tetrachloride masilane. E masani ona fa'aaogaina mo le epitaxial silicon deposition, silicon oxide film deposition, silicon nitride film deposition, amorphous silicon film deposition mo solar cells ma isi photoreceptors, ma isi. O le Epitaxy o se faiga lea e teuina ai ma fa'atupuina ai se mea tioata e tasi i luga o se substrate.

Fa'aputuga o le Ausa Fa'akemikolo (CVD) Kasa Fefiloi

O le CVD o se metotia e fa'aputu ai nisi elemene ma vaila'au e ala i fa'agasologa fa'akemikolo i le va o kesi e fa'aaoga ai vaila'au feololo, o lona uiga, o se metotia e fausia ai se ata tifaga e fa'aaoga ai fa'agasologa fa'akemikolo i le va o kesi. E fuafua i le ituaiga o ata tifaga e fausia, e eseese fo'i le kesi fa'aputuga ausa fa'akemikolo (CVD) e fa'aaogaina.

Fa'aaogaina o vaila'au fa'asainaKasa Fefiloi

I le gaosiga o masini semiconductor ma integrated circuits, o nisi o mea leaga e fa'aopoopoina i totonu o mea semiconductor e tu'uina atu ai i meafaitino le ituaiga conductivity e mana'omia ma se tete'e patino e gaosia ai resistors, PN junctions, buried layers, ma isi. O le kesi e fa'aaogaina i le faiga o le doping e ta'ua o le doping gas.

E aofia ai le arsine, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,boron trifluoride, diborane, ma isi.

E masani lava, o le puna o le doping e palu faatasi ma se kesi feaveaʻi (e pei o le argon ma le nitrogen) i totonu o se pusa puna. A uma ona palu faatasi, o le tafe o le kesi e faʻaauau pea ona tuiina i totonu o le ogaumu faʻasalalau ma siʻomia ai le wafer, ma faʻaputu ai dopants i luga o le wafer, ona faʻafetaui lea ma le silicon e faʻatupu ai uʻamea ua doped e feoaʻi atu i le silicon.

Vā'eiFa'afefiloi Kasa

O le vaneina o le vaneina lea o le mea o loʻo gaosia ai mea (e pei o le ata uʻamea, ata silicon oxide, ma isi mea faapena) i luga o le mea e fai ai le vali e aunoa ma le ufiufiina i le photoresist, aʻo faʻasaoina pea le vaega i le ufiufiina i le photoresist, ina ia maua ai le mamanu ata manaʻomia i luga o le mea e fai ai le vali.

O metotia o le vaneina e aofia ai le vaneina o vailaʻau susu ma le vaneina o vailaʻau mago. O le kesi e faʻaaogaina i le vaneina o vailaʻau mago e taʻua o le kesi vaneina.

O le kesi eli e masani lava o le kesi fluoride (halide), e pei o lekaponi tetrafluoride, nitrogen trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, ma isi mea faapena.