Faatasi ai ma lenei moto i le mafaufau, ua tatou atiae i totonu o se tasi o le sili ona lelei tekonolosi fou, tau talafeagai, ma tau fefaatauaiga o le sili ona lelei
Ma lenei moto i le mafaufau, o loʻo tatou atiaʻe i totonu o le tasi o le sili ona lelei o tekonolosi fou, tau-lelei-taugata, ma tau faʻatau oloa moSaina CF4 Fesuiaiga kesi ma kesi kesiAʻo tatou matapefia lelei ma tulaga masani e pulea lelei i vaega uma o le gaosiga o oloa, faʻataga tatou e faʻamaonia le atoatoa o le tagata faʻatau. Afai e te fiafia i soʻo se matou oloa ma fofo pe manaʻo e talanoaina se faʻatonuga masani, manatua e lagona le saoloto e faʻafesoʻotaʻi mai aʻu. Sa matou tulimatai atu i le fausiaina o le manuia pisinisi pisinisi ma ni tagata fou i le lalolagi atoa.
Faamatalaga | 99.999% |
Okesene + argon | ≤3ppm |
Nitrogen | ≤4 ppm |
Susu (h2o) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
Sf6 | ≤1 ppm |
Mea leaga | ≤1 ppm |
Aofaiga o le ita | ≤10 ppm |
Carbon Turaflurdide o se halogenited hydrocarbon ma le vailaau fomu cf4. E mafai ona manatu o se halogenited hydrocarbon, halogenited methene, pefluorocarbon, pe o se insoloan i le faatufugaga. O Carbon Turafluride o se kesi e leai se aoga ma le manogi, le lava i le vai, susulu i Benzene ma chlorofom. Mautu i lalo o le vevela vevela ma le faʻamalosi, aloese mai le malosi o povi, afi poʻo ni mea faigata. O le kesi e leai se totogi, o le mamafa i totonu o le koneteina o le a faʻateleina ai pe a aʻafia ai i le vevela maualuga, ma o loʻo iai se faʻafitauli o le faʻalavelave ma le manogi. O le vailaʻau o loʻo iai ma le le lelei. Naʻo le vai o Ammonia-Sodium Seady Reagant mafai ona galue i le potu vevela. Carbon Turafluride o se kesi e mafua ai le matagofie o le fale. E mautu lava, e mafai ona nofo i le vanimonimo mo se taimi umi, ma o se kesi malosi tele. O Carbon Tetrafluride o loʻo faʻaaogaina i le Plasma etching gaioiga o le eseese o faʻailoga. E faʻaaogaina foʻi o le laser kasa, ma e faʻaaogaina i le maualalo o le vevela, sologa, faʻamalosiʻau, ma le gaʻo mea, ma masima mo faʻatupuina e leai. O le mea e sili ona faʻaaogaina o le pasa o le kesi i le microepronictics alamanuia. It is a mixture of tetrafluoromethane high-purity gas and tetrafluoromethane high-purity gas and high-purity oxygen. E mafai ona faʻaaogaina tele i Inokion, Alecon Dioxide, Alecon Niufika, ma Apsphosphossured Gree. O le etching o ata manifinifi pei o le fangstenten ma le tungsten o loʻo faʻaaogaina tele i luga o le faʻamamaina o masini eletise, golage terket, ua unaia le gaosia o le soka, ma le faʻaititia o le galueaina o le matagaluega. Faaaogaina o se maualalo-vevela o le vevela ma le plasma faamamaina esching tekinolosi mo le tuʻufaʻatasia o aitalafu. Puipuia mo le teuina: Faleoloa i se malu, veletila i totonu o le fale teu oloa o kesi. Aloese mai le afi ma le vevela vevela. O le teuina o le vevela e le tatau ona sili atu ile 30 ° C. E tatau ona teuina ese mai fafo mai faigofie (fetaui lelei) e mafai ona maua ma povi, ma alofia palu faatasi. O le nofoaga o loʻo teuina e tatau ona tuʻuina atu i mea taumafa faʻalavelave faʻalavelave.
① Redrigerant:
Tetrafluoromethane o nisi taimi e faʻaaoga o se vevela vevela vevela.
② Etching:
O loʻo faʻaaogaina i le eletise eletise na o ia poʻo le tuʻufaʻatasia ma le okesene e pei o se plasma e le o se plasma, sili-tericon diodide.
Mea | Carbon Turafluride CF4 | ||
Afifi tele | 40ltr cylinder | 50ltr cylinder | |
Faatumu o le upega o le upega / cyl | 30kgs | 38kgs | |
Qty utaina i le 20'conider | 250 Cyls | 250 Cyls | |
Aofaiga o le mamafa o le upega | 7.5 tone | 9.5 tone | |
Cylinder Tare Weight | 50kgs | 55Kgs | |
Alatoto | Cga 580 |
①ld vivigh alofa, lata ane fale;
②iso Tusi gaosi oloa;
O loo momoli mai;
④on-laina suʻesuʻega faiga mo le faʻatonutonuina i laʻasaga uma;
⑤high manaoga ma le faʻamaoni i faiga mo le tagofia o le kesi ae leʻi faʻatumuina;Faatasi ai ma lenei moto i le mafaufau, ua tatou atiae i totonu o se tasi o le sili ona lelei tekonolosi fou, tau talafeagai, ma tau fefaatauaiga o le sili ona lelei
Siiina tau moSaina CF4 Fesuiaiga kesi ma kesi kesiAʻo tatou matapefia lelei ma tulaga masani e pulea lelei i vaega uma o le gaosiga o oloa, faʻataga tatou e faʻamaonia le atoatoa o le tagata faʻatau. Afai e te fiafia i soʻo se matou oloa ma fofo pe manaʻo e talanoaina se faʻatonuga masani, manatua e lagona le saoloto e faʻafesoʻotaʻi mai aʻu. Sa matou tulimatai atu i le fausiaina o le manuia pisinisi pisinisi ma ni tagata fou i le lalolagi atoa.