E fa'aputuina le Tungsten hexafluoride (WF6) i luga o le fogā'ele'ele e ala i se faiga CVD, e fa'atumu ai lua feso'ota'iga u'amea, ma fausia ai le feso'ota'iga u'amea i le va o vaega.
Se'i o tatou talanoa muamua e uiga i le plasma. O le plasma o se ituaiga o mea e tele lava ina aofia ai eletise saoloto ma ion ua molia. E tele lava ina iai i le atulaulau ma e masani ona ta'ua o le tulaga lona fa o mea. E ta'ua o le tulaga plasma, e ta'ua fo'i o le "Plasma". E maualuga le eletise o le plasma ma e malosi lona aafiaga fa'apipi'i ma le fanua eletise. O se kesi ua fa'aionaina fa'atasi, e aofia ai eletise, ion, radicals saoloto, vaega e le fa'aitu'au, ma photons. O le plasma lava ia o se fa'afefiloi eletise e le fa'aitu'au e aofia ai vaega e galulue fa'aletino ma fa'akemikolo.
O le faʻamatalaga saʻo, i lalo o le gaioiga a le malosi maualuga, o le a faatoilaloina e le molela le malosi van der Waals, le malosi o le fusifusia o vailaʻau ma le malosi Coulomb, ma tuʻuina atu ai se ituaiga o eletise e le faʻaituʻau i le atoaga. I le taimi lava e tasi, o le malosi maualuga e tuʻuina atu e le itu i fafo e faatoilaloina ai malosiaga e tolu o loʻo i luga. O le galuega, o eletise ma ions e tuʻuina atu ai se tulaga saoloto, lea e mafai ona faʻaaogaina faʻapitoa i lalo o le faʻatonutonuina o se fanua maneta, e pei o le faiga o le etching semiconductor, faiga CVD, faiga PVD ma le IMP.
O le ā le malosi maualuga? I le manatu faavae, e mafai ona faʻaaogaina le RF vevela maualuga ma le RF televave maualuga. I se tulaga lautele, e toetoe lava a le mafai ona ausia le vevela maualuga. O lenei manaʻoga o le vevela e maualuga tele ma atonu e latalata i le vevela o le la. E le mafai ona ausia i le faagasologa. O le mea lea, e masani ona faʻaaogaina e le alamanuia le RF televave maualuga e ausia ai. E mafai e le RF Plasma ona oʻo atu i le maualuga e oʻo atu i le 13MHz+.
O le tungsten hexafluoride e fa'ama'a'aina i le plasma i lalo o le gaioiga a se fanua eletise, ona fa'aputuina lea i le ausa e se fanua maneta. O atomu W e tutusa ma fulufulu o kusi o le taumalulu ma pa'u'ū i le eleele i lalo o le gaioiga a le kalave. E fa'agesegese ona fa'aputuina atomu W i totonu o pu, ma iu ai ina fa'atumuina pu e fausia ai ni feso'ota'iga u'amea. I le fa'aopoopoga i le fa'aputuina o atomu W i totonu o pu, o le a fa'aputuina fo'i i luga o le Wafer? Ioe, e mautinoa lava. I se tulaga lautele, e mafai ona e fa'aogaina le faiga W-CMP, o le mea lea tatou te ta'ua o le faiga olo fa'amekanika e aveese ai. E tutusa ma le fa'aogaina o se salu e salu ai le fola pe a uma le kiona mamafa. O le kiona i luga o le eleele e tafiesea, ae o le kiona i totonu o le pu i luga o le eleele o le a tumau pea. I lalo, e toetoe lava tutusa.
Taimi na lafoina ai: Tesema-24-2021
