Tungsten hexafluoride (WF6) o loʻo tuʻuina i luga o le pito i luga o le wafer e ala i le CVD process, faʻatumu uʻamea fesoʻotaʻiga lua, ma fausia ai le fesoʻotaʻiga uʻamea i le va o laulau.
Sei o tatou talanoa muamua e uiga i le plasma. Plasma o se ituaiga o mea e masani ona aofia ai electrons saoloto ma ion ua molia. E iai lautele i le atulaulau ma e masani ona manatu o le tulaga lona fa o mea. E taʻua o le plasma state, e taʻua foi o le "Plasma". Plasma e maualuga le eletise eletise ma e iai se aafiaga malosi faʻatasi ma le eletise eletise. O se kasa ua fa'a'ona, e aofia ai electrons, ions, radical free, particulate neutral, ma photons. O le plasma lava ia ose paluga fa'ale-eletise o lo'o iai vaega fa'aletino ma kemikolo.
O le faʻamatalaga tuusaʻo e faapea i lalo o le gaioiga o le malosi maualuga, o le mole o le a manumalo i le van der Waals malosi, vailaʻau faʻamalosi malosi ma le malosi Coulomb, ma faʻaalia ai se ituaiga o eletise le tutusa atoa. I le taimi lava e tasi, o le malosi maualuga e tuʻuina atu e fafo e faʻatoʻilaloina ai malosiaga e tolu o loʻo i luga. Galuega, electrons ma ions o loʻo tuʻuina atu se setete saoloto, lea e mafai ona faʻaaogaina faʻapitoa i lalo o le faʻaogaina o se maneta, e pei o le semiconductor etching process, CVD process, PVD ma le IMP process.
O le a le malosi maualuga? I le aʻoaʻoga, e mafai ona faʻaaogaina uma le maualuga o le vevela ma le maualuga o le RF. I le tulaga lautele, o le maualuga o le vevela e toetoe lava a le mafai ona ausia. O lenei mana'oga vevela e maualuga tele ma atonu e latalata i le vevela o le la. E matua le mafai ona ausia i le faagasologa. O le mea lea, e masani ona faʻaaogaina e le alamanuia le RF maualuga e ausia ai. Plasma RF e mafai ona oʻo i le maualuga e pei o le 13MHz +.
Tungsten hexafluoride o loʻo faʻapipiʻiina i lalo o le gaioiga a se eletise eletise, ona faʻapipiʻi ai lea o le ausa e se maneta. W atoms e talitutusa ma fulu kusi taumalulu ma pa'u i lalo i lalo o le gaioiga o le kalave. Lemu, W atoms o loʻo teuina i totonu o pu, ma mulimuli ane faʻatumu atoa i pu e fausia ai fesoʻotaʻiga uʻamea. I le faaopoopo atu i le teuina o W atoms i totonu o pu, o le a teuina foi i luga o le Wafer? Ioe, mautinoa. I se tulaga lautele, e mafai ona e faʻaogaina le W-CMP process, o le mea lea matou te taʻua o le faʻaogaina o masini e aveese ai. E taitutusa ma le faaaogaina o se salu e salu ai le fola pe a uma le kiona mamafa. O le kiona i luga o le eleele e tafiesea, ae o le kiona i totonu o le pu i luga o le eleele o le a tumau. I lalo, e tutusa lava.
Taimi meli: Tes-24-2021
