O le matafaioi a Shafur Herafluory i Silkon Nitride Etching

Sulfuur hexlustrides o se kesi ma sili atu le faʻaletonu o meatotino ma e masani ona faʻaaogaina i laina maualuga-voltage i laina, erc.3. Electroncroning School Maualuga-mama Soulfur hexlustride o se lelei eletise eletise, o loʻo faʻaaogaina tele i le fanua o le microde tekonolosi. O lenei aso, ui ides news nest dascition yueyue o le a faʻailoa mai ai le faʻaaogaina o le sulfur hexlustride i le sili o le sili o le siliki ma le faatosinaga o tulaga eseese.

Matou te talanoaina le SF6 Plasma etching gaioiga Sinia, e aofia ai le suia o le Plasma mana, o le Taaloga o le SF6 / ia, SF6 / HAC6 Faʻafitauli, ma faʻaalia le sootaga i le va o le suiga o le fesuiaiga o le SICTX etching fua ma le Plasma ituaiga o loʻo fuafuaina.

Suʻesuʻega ua oʻo mai pe a siʻitia le eletise, ae eʻesega le fua faatatau; Afai o le tau fua o le sf6 i le plasma ua faateleina, o le F atmam e faʻateleina ai ma e lelei ona fesoʻotaʻi ma le eʻeta fua. E le gata i lea, ina ua maeʻa le faʻaopopoina o le kesi o le kasa o2 i lalo o le faʻatulagaina o fua, o le a maua ai le faʻamanuiaga o le SF6, ae e mafai ona vaevaeina i le vaega o2 / sf6 o loʻo i ai i le taimi nei e le o faʻaopopo ai. (2) A e o le O2 / SF6 le fua faatatau e sili atu nai lo le 0.2 i le vaitaimi o latalata mai 1, i le taimi lenei, ona o le tele o le sala tupe; Ae i le taimi lava e tasi, o loʻo faʻateleina foʻi le atom i le plasma ma e faigofie lava ona faia siox poʻo le agasala. O le mea lea, o le fua faatatau e amata ona faʻagesegese le taimi o le o2 / sf6 fua o loʻo latalata i le 1. (3) pe a faʻaititia le o2 / s.6 o le fua faatatau o le 1, o le mea e faʻaitiitia o le o2 / sc6 o le a sili atu nai lo le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le o2 / sf6 e sili atu nai lo le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le o2 / sf6 e sili atu nai lo le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le o2 / sf6 e sili atu ona faʻaitiitia i le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le o2 / sf6 o le o2 / sc6 o le a e sili atu nai lo le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le o2 / sf6 o le O2 / SEC6 fua faatatau o le 1, e faʻaitiitia ai le fua o le O2 / sf6 o le O2 / SEC6 ONCHA e sili atu ona faʻatagaina. Ona o le tele o le tele o le O2, o le faʻalumaina o F atmus coltode ma o2 ma foliga o le, o loʻo faʻaititia le toto o ftoms, e mafua ai le faʻaititia o le fua o le f. E mafai ona vaaia mai lenei mea pe a faʻaopoopo le O2, o le fua o le fua faatatau o O2 / SF6 o loʻo i le va o le 0.2 Ma 0,8, ma le sili ona lelei fua e mafai ona mauaina.