Haidrokene klôridao se kesi e leai se lanu ma e manogi malosi. O lona vai e ta'ua o le hydrochloric acid, e ta'ua fo'i o le hydrochloric acid. E matuā faigofie ona fa'asusu le hydrogen chloride i le vai. I le 0°C, e mafai e le 1 voluma o le vai ona fa'asusu pe tusa ma le 500 voluma o le hydrogen chloride.

O loʻo i ai ona meatotino ma uiga nei:

1. Mama maualuga

Le mama o le vasega eletisehaitorosene klôridae matua maualuga lava, e masani lava i le ppm po'o le tulaga maualalo ifo, ina ia mautinoa e leai ni mea leaga e fa'aofiina i totonu o le fa'agasologa o le gaosiga o semiconductor.

2. Lē gaoioi

O se kasa e lē gaoioi e aunoa ma ni vailaʻau e lē tali atu ma le tele o isi mea, e taua tele e puipuia ai le faʻaleagaina o meafaitino ma masini semiconductor.

3. Mausali maualuga

Vasega eletisehaitorosene klôridae masani lava ona iai le kemisi mautu e faʻamautinoa ai le faʻatuatuaina o le faʻagasologa o semiconductor.

I le fa'agasologa o semiconductor, o fa'aoga autu o le hydrogen chloride vasega eletise e aofia ai:

1. Fa'amamaina ma le sauniuniga o luga

I le avea ai ma se mea e fa'amamā ai luga e lelei, e fa'aeletoronika le vasegahaitorosene klôridae fa'aaogaina e aveese ai oxides ma mea leaga mai le fogāeleele o le substrate e fa'amautinoa ai le lelei ma le mama o le vaega epitaxial po'o le ata tifaga.

2. Fesoasoani i le tuputupu aʻe o le epitaxial

Fa'aaogaina o se sui togafitiga luga i le fa'agasologa epitaxial, e fesoasoani e fa'aleleia atili ai le lelei o le vaega epitaxial, fa'aleleia atili le fetaui o le lattice, ma fa'aitiitia ai le fa'avaeina o fa'aletonu o le lattice.

3. Togafitiga muamua o le substrate

A'o le'i saunia masini semiconductor, vasega eletisehaitorosene klôridae mafai ona faʻaaogaina e togafitia ai le fogāeleele o le substrate e fausia ai se faʻavae mautu e faʻaleleia atili ai le pipii i le va o le vaega epitaxial ma le substrate.

4. Sui fesoasoani mo le fa'aputuina

I le faagasologa o le fa'aputuga o le ausa kemikolo (CVD) po'o le fa'aputuga o le ausa faaletino (PVD), e mafai ona fa'aogaina le hydrogen chloride vasega eletise e fai ma auala e fa'aliliu ai le kesi e auai i le tali atu i le fa'aputuga o mea semiconductor.

5. Sui e fa'aliliuina le kesi

I le avea ai o se sui e fesiita'i le vaega o le kesi, o isi vaila'au fa'asolo kesi e fa'aofiina i totonu o le potu tali atu e fesoasoani e fetu'una'i le fua fa'atatau o le fa'aputuina ma le tutusa o le meafaitino.

O nei uiga e faia ai le vasega eletisehaitorosene klôridao se sui taua o le faagasologa i tekinolosi semiconductor, lea e iai sona aafiaga autu i le faatinoga ma le faatuatuaina o le masini mulimuli.

I le fa'aopoopoga i lona fa'aaogaina i le fa'agasologa o semiconductor, e mafai fo'i ona tele fa'aaogaina o le hydrogen chloride vasega eletise i isi vaega, e aofia ai: Sauniuniga o mea mama maualuga, Sela Suau'u, Fa'atupula'ia o mea Semiconductor, Lithography Vapor Phase, Su'esu'ega o Mea, Su'esu'ega Fa'akemikolo.

I se tulaga lautele, o le vasega eletisehaitorosene klôridao se kasa e tele ona aoga, e maualuga le mama ma e tele ona fa'aoga i fafo atu o le gaosiga o semiconductor.