Ultra-maualuga mama mama (UHP) kasa o le toto ola o le alamanuia semiconductor. A'o fa'atupuina le mana'oga ma fa'alavelave i filifili fa'ava-o-malo ua si'itia ai le tau o le kasa ultra-high pressure, o fa'ata'ita'iga fou o le semiconductor ma faiga gaosi ua fa'atuputeleina ai le maualuga o le pulea o le filogia mana'omia. Mo tagata gaosi semiconductor, o le mafai ona mautinoa le mama o le UHP gas e sili atu le taua nai lo se isi lava taimi.

Ultra High Purity (UHP) Gases e matua taua tele i le gaosiga o Semiconductor i aso nei

O se tasi o faʻaoga autu o le UHP gas o le inertization: O le UHP gas e faʻaaogaina e tuʻuina atu ai se siosiomaga puipuia i vaega semiconductor, ma puipuia ai i latou mai aʻafiaga leaga o le susu, okesene ma isi mea leaga i le siosiomaga. Ae ui i lea, o le inertization o se tasi lea o le tele o galuega eseese o loʻo faʻatinoina e kesi i totonu ole alamanuia semiconductor. Mai kasa plasma muamua e o'o atu i kasa fa'aogaina e fa'aoga i le etching ma annealing, ultra-high pressure kasa o lo'o fa'aaogaina mo le tele o fa'amoemoega eseese ma e mana'omia i totonu o le fa'aogaina o le semiconductor sapalai.

O nisi o kasa "autu" i totonu o pisinisi semiconductor e aofia ainitrogen(fa'aaogaina e fai ma fa'amama fa'amama ma le kesi lega),argon(fa'aaogaina e fai ma kasa plasma muamua i le etching ma le tu'u fa'agaoioiga),helium(fa'aaogaina e fai ma kesi lega fa'atasi ma mea fa'apitoa e fa'aliliuina ai le vevela) mahydrogen(e tele ana matafaioi i le faʻamaʻiina, faʻapipiʻi, epitaxy ma le faʻamamaina o le plasma).

A'o fa'atupuina ma suia le tekonolosi semiconductor, e fa'apea fo'i le kasa o lo'o fa'aaogaina i le gaosiga. I aso nei, o lo'o fa'aogaina e fale gaosi semiconductor le tele o kasa, mai kasa mamalu e pei okriptonmaneoni meaola fa'afefe e pei ole nitrogen trifluoride (NF 3) ma le tungsten hexafluoride (WF 6).

Faatupulaia le manaoga mo le mama

Talu mai le mea fou o le microchip pisinisi muamua, ua molimauina e le lalolagi se siʻitia lata mai faʻateleina i le faʻatinoga o masini semiconductor. I le lima tausaga talu ai, o se tasi o auala sili ona mautinoa e ausia ai lenei ituaiga o faʻaleleia atili o faʻatinoga e ala i le "size scaling": faʻaitiʻitia vaega autu o fausaga vaʻa o loʻo i ai nei ina ia mafai ai ona faʻapipiʻi le tele o transistors i se avanoa. E le gata i lea, o le atinaʻeina o fausaga fou o chip ma le faʻaogaina o mea faʻapipiʻi ua maua ai le oso i le faʻatinoga o masini.

I aso nei, o fua fa'atatau o semiconductor pito sili ona la'ititi ua le o toe avea le fa'avasegaina o se auala talafeagai e fa'aleleia ai le fa'atinoga o masini. Nai lo lena, o loʻo suʻesuʻeina e le au suʻesuʻe semiconductor ni fofo i le tulaga o mea fou ma le 3D chip architectures.

O le tele o tausaga o le toe fa'afouga le vaivai o lona uiga o masini semiconductor i aso nei e sili atu le malosi nai lo microchips tuai - ae sili atu ona ma'ale'ale. O le oʻo mai o le 300mm faʻatekonolosi faʻapipiʻiina ua faʻateleina le maualuga o le pulea o le le mama e manaʻomia mo le gaosiga o semiconductor. E o'o lava i sina fa'aleaga la'ititi i totonu o se gaosiga (aemaise lava o kasa e seasea po'o le gaogao) e mafai ona o'o atu ai i fa'alavelave fa'aletonu o mea faigaluega - o lea ua sili atu le taua o le mama o le kesi nai lo se isi lava taimi.

Mo se fale gaosi semiconductor masani, o le kasa ultra-maualuga-mama ua uma ona sili atu le tau o meafaitino pe a uma le silikoni lava ia. O nei tau o loʻo faʻamoemoeina e faʻateleina pe a faʻateleina le manaʻoga mo semiconductor i se maualuga fou. O mea na tutupu i totonu o Europa na mafua ai le faʻalavelave faʻafuaseʻi i le maketi o le kesi faʻalenatura malosi. Iukureini o se tasi o le lalolagi sili ona fa'atau atu oloa maualuga-mamaneonfa'ailoga; O le osofa'iga a Rusia o lona uiga o sapalai o le kesi e le masani ai o lo'o fa'atapula'aina. O le mea lea na mafua ai le le lava ma le maualuga o tau o isi kesi taua e pei okriptonmaxenon.