O loʻo tausisia e le faʻalapotopotoga le manatu faʻavae "pulega faʻasaienisi, tulaga sili ona lelei ma le aoga, sili atu le tagata faʻatau mo le New Delivery mo CAS 7803-62-5 Semiconductor Use Gas Silane/Silicon Tetrahydride, O loʻo matou tulimatai atu nei i le tele o le galulue faʻatasi ma tagata faʻatau mai fafo faʻalagolago. i luga o taui tutusa. Afai e te fiafia i le toetoe lava o soʻo se tasi o matou fofo, ia mautinoa e te sau e leai se tau e valaʻau mai ai mo nisi faʻamatalaga.
O lo'o fa'atumauina pea e le fa'alapotopotoga le fa'atonuga o le fa'agasologa "pulega fa'asaienisi, fa'asilisiliina lelei ma le aoga, fa'amuamua tagata fa'atau moSaina Silicon Tetrahydride ma Silane, Ina ia mafai ona e faʻaogaina le punaoa mai le faʻalauteleina o faʻamatalaga i fefaʻatauaʻiga faavaomalo, matou te faʻafeiloaʻi tagata faʻatau mai soʻo se mea i luga ole laina ma tuusao. E ui lava i fofo lelei o loʻo matou ofoina atu, o le lelei ma le faʻamalieina o faʻatalanoaga o loʻo tuʻuina atu e le matou tagata tomai faapitoa i le maeʻa o le faʻatau atu. Lisi o oloa ma fa'amaufa'ailoga au'ili'ili ma so'o se isi fa'amatalaga e lafo atu ia te oe ile taimi talafeagai mo au su'esu'ega. Fa'amolemole fa'afeso'ota'i ma matou e ala i le lafo mai o imeli pe vala'au mai pe a iai ni au fesili e uiga i la matou kamupani. e mafai fo'i ona maua a matou fa'amatalaga tuatusi mai la matou itulau uepi ma sau i la matou kamupani e su'e se su'esu'ega fanua oa matou oloa. Matou te mautinoa o le a matou fefaʻasoaaʻi taunuʻuga faʻatasi ma faʻamalosia sootaga felagolagomai ma a matou soa i lenei maketi. O lo'o matou tulimata'i mo au su'esu'ega.
Fa'amatalaga | 99% |
SF6 | ≤0.2% |
O2+N2 | ≤0.1% |
CO2 | ≤0.05% |
CF4 | ≤0.1% |
Isi Fa'aAifu'i (SxFy) | ≤0.5% |
O le Sulfur tetrafluoride ose mea fa'apitoa fa'atasi ma se fua mole mole o le SF4. O se kasa e leai ni lanu, pala ma e sili ona oona i se siosiomaga masani. E iai le mamafa mole mole o le 108.05, o le mea e liusuavai ai -124°C, ma le vevela o le -38°C. O le mea e sili ona aoga ma fa'aoga lautele fa'aoga fa'atosina fluorinating agent. E mafai ona filifili fluorinate carbonyl ma hydroxyl vaega. O loʻo i ai se tulaga e le mafai ona suia i le gaosiga o vailaʻau lelei, mea tioata vai ma fale gaosi oloa maualuga. Sulfur tetrafluoride ose vaila'au fluorinating filifilia. O se kasa e leai ni lanu ma se manogi malosi e pei o le sulfur dioxide gas i lalo o le vevela masani ma le mamafa. E oona ma e le mu pe pa i le ea; i le 600°C E tumau pea le mautu. Ole malosi ole hydrolysis ile ea e fa'aulu ai le asu pa'epa'e. O le fa'afeiloa'i ma le susū i totonu o se si'osi'omaga e mafai ona tupu ai le pala e pei o le hydrofluoric acid. Atoa hydrolyzed i le sulfur dioxide ma hydrofluoric acid, pe a fai se vaega hydrolyzed, e faatupuina oona thionyl fluoride, ae e mafai ona mitiia atoatoa e le malosi alkali vaifofo e avea ma masima e le oona ma le afaina; e mafai ona solo i le benzene. Sulfur tetrafluoride i le taimi nei o le sili ona lelei le filifilia o le vailaʻau faʻasolosolo faʻasolosolo faʻaaogaina lautele. E mafai ona filifili fluorinate carbonyl ma hydroxyl vaega (sui okesene i carbonyl-o loʻo i ai faʻapotopotoga); o loʻo faʻaaogaina lautele i vailaʻau lelei mo mea tioata vai tioata maualuga ma O le gaosiga o vailaʻau faʻamaʻi ma vailaʻau faʻamaʻi e iai se tulaga e le mafai ona suia. E mafai fo'i ona fa'aoga mo le kesi fa'aeletoroni, fa'afu vaila'au vaila'au, so'o togafitiga i luga, plasma dry etching ma le tele o isi itu. Fa'aaogaina i le fa'aogaina o meaola, o se reagent masani mo le faia o fluorocarbons. Sulfur tetrafluoride o lo'o teuina i totonu o se faleteuoloa malulu, fa'alili. E tatau ona teu ese mai mea fa'ama'i, vaila'au e mafai ona 'aina, ma metala alkali, ma ia mamao ese mai le afi ma le vevela.
① Su'esu'e fa'amasani fa'amasani:
Le sili sili ona lelei filifili fluorinating sui e masani ona faʻaaogaina i mea tioata vai tioata maualuga ma se vailaʻau faʻamaʻi faʻamaʻi, vailaʻau ma vailaʻau; e mafai foi ona faʻaaogaina e pei o le electron gas, vailaʻau vaʻa vailaʻau, vailaʻau togafitiga luga, etching mago, plasma ma isi vaega.
Oloa | Sulfur Tetrafluoride(SF4) |
Tele o le afifi | 47Ltr Cylinder |
Faatumu Mea/Cyl | 45Tu |
Qty ile 20FT | 250 sili |
Mamafa Tare Silinder | 50Tu |
Valve | CGA 330 |
①E silia ma le sefulu tausaga i luga o le maketi;
②ISO gaosi tusi faamaonia;
③Tuuina atu vave;
④Stable puna mea mata;
⑤On-line auʻiliʻili faiga mo le pulea lelei i laasaga uma;
⑥Manaoga maualuga ma le faʻagasologa faʻapitoa mo le faʻaogaina o le paʻu aʻo leʻi faʻatumu;O loʻo tausisia e le faʻalapotopotoga le manatu faʻavae "pulega faʻasaienisi, tulaga sili ona lelei ma le aoga, sili atu le tagata faʻatau mo le New Delivery mo CAS 7803-62-5 Semiconductor Use Gas Silane/Silicon Tetrahydride, O loʻo matou tulimatai atu nei i le tele o le galulue faʻatasi ma tagata faʻatau mai fafo faʻalagolago. i luga o taui tutusa. Afai e te fiafia i le toetoe lava o soʻo se tasi o matou fofo, ia mautinoa e te sau e leai se tau e valaʻau mai ai mo nisi faʻamatalaga.
Tiliva Fou moSaina Silicon Tetrahydride ma Silane, Ina ia mafai ona e faʻaogaina le punaoa mai le faʻalauteleina o faʻamatalaga i fefaʻatauaʻiga faavaomalo, matou te faʻafeiloaʻi tagata faʻatau mai soʻo se mea i luga ole laina ma tuusao. E ui lava i fofo lelei o loʻo matou ofoina atu, o le lelei ma le faʻamalieina o faʻatalanoaga o loʻo tuʻuina atu e le matou tagata tomai faapitoa i le maeʻa o le faʻatau atu. Lisi o oloa ma fa'amaufa'ailoga au'ili'ili ma so'o se isi fa'amatalaga e lafo atu ia te oe ile taimi talafeagai mo au su'esu'ega. Fa'amolemole fa'afeso'ota'i ma matou e ala i le lafo mai o imeli pe vala'au mai pe a iai ni au fesili e uiga i la matou kamupani. e mafai fo'i ona maua a matou fa'amatalaga tuatusi mai la matou itulau uepi ma sau i la matou kamupani e su'e se su'esu'ega fanua oa matou oloa. Matou te mautinoa o le a matou fefaʻasoaaʻi taunuʻuga faʻatasi ma faʻamalosia sootaga felagolagomai ma a matou soa i lenei maketi. O lo'o matou tulimata'i mo au su'esu'ega.