O loʻo faʻaauau pea ona faʻavae le faʻalapotopotoga i le manatu o le faiga faʻavae "pulega faʻasaienisi, tulaga maualuga ma le aoga e sili ona lelei, sili ona lelei le tagata faʻatau mo le Tuʻuina Atu Fou mo le CAS 7803-62-5 Semiconductor Faʻaaogaina le Gas Silane/Silicon Tetrahydride, O loʻo matou tulimatai atu nei i le galulue faʻatasi ma tagata faʻatau mai fafo e faʻalagolago i taui fefaʻasoaaʻi. Afai e te fiafia i soʻo se tasi o a matou auaunaga, faʻamolemole ia e valaʻau mai ia matou mo nisi faʻamatalaga.
O loʻo tausisia e le faʻalapotopotoga le manatu o le faiga faʻavae "pulega faʻasaienisi, tulaga maualuga ma le aoga faʻamuamua, tagata faʻatau sili moSaina Silicon Tetrahydride ma Silane, Ina ia mafai ona e faʻaaogaina le punaoa mai faʻamatalaga faʻalauteleina i fefaʻatauaʻiga faavaomalo, matou te taliaina tagata faʻatau mai soʻo se mea i luga ole laiga ma fafo atu ole laiga. E ui lava i fofo lelei matou te ofoina atu, o loʻo tuʻuina atu e le matou 'au faʻapitoa auaunaga pe a uma le faʻatau atu le auaunaga fesoasoani lelei ma faʻamalieina. O lisi o oloa ma faʻamatalaga auiliili ma soʻo se isi faʻamatalaga o le a lafoina atu ia te oe i le taimi tatau mo au fesili. O lea faʻamolemole faʻafesoʻotaʻi matou e ala i le lafoina mai o imeli pe valaʻau mai pe a iai ni au fesili e uiga i la matou kamupani. E mafai foʻi ona e mauaina a matou faʻamatalaga tuatusi mai la matou itulau uepi ma sau i la matou kamupani e fai se suʻesuʻega i le fanua o a matou oloa. Matou te talitonu o le a matou faʻasoa atu le manuia faʻatasi ma fausia ni mafutaga malosi faʻatasi ma a matou paʻaga i lenei maketi. Matou te tulimatai atu i au fesili.
| Fa'amatalaga | 99% |
| SF6 | ≤0.2% |
| O2+N2 | ≤0.1% |
| CO2 | ≤0.05% |
| CF4 | ≤0.1% |
| Isi Fa'aputuga Sulfur (SxFy) | ≤0.5% |
O le Sulfur tetrafluoride o se vailaʻau e le o se mea olaola ma lona fua faʻatatau molecular o le SF4. O se kesi e leai se lanu, e 'a'ai ma e matuā oona i se siosiomaga masani. O lona mamafa molecular o le 108.05, o lona tulaga e liusuavai ai o le -124°C, ma le tulaga e pupuna ai o le -38°C. O le vailaʻau sili ona lelei ma faʻaaogaina lautele mo le fluorinating organic. E mafai ona fluorinate filifilia vaega carbonyl ma hydroxyl. E iai sona tulaga e le mafai ona suia i le gaosiga o vailaʻau lelei, mea vai tioata ma alamanuia faʻatau oloa taugata. O le Sulfur tetrafluoride o se vailaʻau fluorinating organic filifilia. O se kesi e leai se lanu ma se manogi malosi e tutusa ma le kesi sulfur dioxide i lalo o le vevela ma le mamafa masani. E oona ma e le mu pe pāpā i le ea; i le 600°C E tumau pea le mautu. O le hydrolysis malosi i le ea e faʻasaʻolotoina ai le asu paʻepaʻe. O le fetaiaʻi ma le susu i se siosiomaga e mafai ona mafua ai le 'a'ai e tutusa ma le hydrofluoric acid. A maeʻa ona faʻamaʻaʻaina atoa i le sulfur dioxide ma le hydrofluoric acid, a maeʻa ona faʻamaʻaʻaina se vaega, e maua ai le thionyl fluoride oona, ae e mafai ona mitiia atoa e le vailaʻau malosi alkali e avea ai ma masima e le oona ma e le afaina; e mafai ona faʻataʻapeʻapeina i le benzene. O le sulfur tetrafluoride o le vailaʻau sili ona lelei e faʻaaogaina lautele i le taimi nei. E mafai ona faʻamaʻaʻaina faʻapitoa vaega o le carbonyl ma le hydroxyl (suia le okesene i totonu o vailaʻau o loʻo i ai le carbonyl); e faʻaaogaina lautele i vailaʻau lelei mo mea tioata vai maualuga ma le gaosiga o vailaʻau faʻatauvaʻa maualuga ma vailaʻau faʻasaina e iai se tulaga e le mafai ona suia. E mafai foʻi ona faʻaaogaina mo le kesi eletise, faʻaputuga o le ausa vailaʻau, vailaʻau togafitiga luga, plasma dry etching ma le tele o isi vaega. Faʻaaogaina i le faʻaputuga faʻanatura, o se vailaʻau masani mo le faia o fluorocarbons. O le sulfur tetrafluoride e teuina i totonu o se fale teuoloa malulu ma ea. E tatau ona teuina ese mai mea e faʻaola ai le ea, vailaʻau 'aina, ma metala alkali, ma mamao ese mai le afi ma puna vevela.
① Mea fa'aola fluorination:
O le sui sili ona lelei e sili ona lelei i le filifilia maualuga o le fluorinating e faʻaaogaina lautele i mea tioata vai maualuga ma vailaʻau faʻasaina o loʻo i ai le fluorine, vailaʻau ma vailaʻau faʻasolosolo; e mafai foʻi ona faʻaaogaina e pei o le kesi eletise, faʻaputuga ausa vailaʻau, sui togafitiga luga, faʻamago mago, plasma ma isi vaega.
| Oloa | Sulfur Tetrafluoride(SF4) |
| Tele o le Afifi | 47Ltr Cylinder |
| Fa'atumuina o Mataupu/Cyl | 45Kilokalama |
| Aofa'i i le 20FT | 250 sikuli |
| Mamafa o le Tare o le Silini | 50Kilokalama |
| Valve | CGA 330 |
①E silia ma le sefulu tausaga i le maketi;
②Kamupani gaosi tusi faamaonia ISO;
③Fa'ao'oina vave;
④Punaoa mautu o meafaitino mata;
⑤Faiga au'ili'iliga i luga ole laiga mo le puleaina lelei i la'asaga ta'itasi;
⑥Manaʻoga maualuga ma le faʻagasologa faʻaeteete mo le taulimaina o le ogāumu aʻo leʻi faʻatumuina;O loʻo faʻaauau pea ona faʻavae le faʻalapotopotoga i le manatu o le faiga faʻavae "pulega faʻasaienisi, tulaga maualuga ma le aoga e sili ona lelei, sili ona lelei le tagata faʻatau mo le Tuʻuina Atu Fou mo le CAS 7803-62-5 Semiconductor Faʻaaogaina le Gas Silane/Silicon Tetrahydride, O loʻo matou tulimatai atu nei i le galulue faʻatasi ma tagata faʻatau mai fafo e faʻalagolago i taui fefaʻasoaaʻi. Afai e te fiafia i soʻo se tasi o a matou auaunaga, faʻamolemole ia e valaʻau mai ia matou mo nisi faʻamatalaga.
Fa'ao'oina Fou moSaina Silicon Tetrahydride ma Silane, Ina ia mafai ona e faʻaaogaina le punaoa mai faʻamatalaga faʻalauteleina i fefaʻatauaʻiga faavaomalo, matou te taliaina tagata faʻatau mai soʻo se mea i luga ole laiga ma fafo atu ole laiga. E ui lava i fofo lelei matou te ofoina atu, o loʻo tuʻuina atu e le matou 'au faʻapitoa auaunaga pe a uma le faʻatau atu le auaunaga fesoasoani lelei ma faʻamalieina. O lisi o oloa ma faʻamatalaga auiliili ma soʻo se isi faʻamatalaga o le a lafoina atu ia te oe i le taimi tatau mo au fesili. O lea faʻamolemole faʻafesoʻotaʻi matou e ala i le lafoina mai o imeli pe valaʻau mai pe a iai ni au fesili e uiga i la matou kamupani. E mafai foʻi ona e mauaina a matou faʻamatalaga tuatusi mai la matou itulau uepi ma sau i la matou kamupani e fai se suʻesuʻega i le fanua o a matou oloa. Matou te talitonu o le a matou faʻasoa atu le manuia faʻatasi ma fausia ni mafutaga malosi faʻatasi ma a matou paʻaga i lenei maketi. Matou te tulimatai atu i au fesili.