Vevela-faʻatauina o Saina maualuga Mama Mama o Carbon Turafluride CF4 Kasa mo semponductor Commonds Asching

E lē masani ai matou faʻatinoina le matou agaga "O le aumaia o le alualu i luma, maualuga lelei le faia o ni tagata faigaluega maualuga o le fale ma le matagofie.
Matou te masani ona faia le matou agaga o le "fou aumaia alualu i luma, sili-maualuga le faia o se sili ona aoga, pulega o le taufaʻamataʻu manuiaSaina Cf4 Fesuiai kesi, Kesi kesi, O matou o lau paʻaga faʻatuatuaina i maketi faavaomalo ma le sili ona lelei oloa. O a tatou malo e uiga mamao, mafai ona fetuutuunai ma e talia mea na fausia i le lua sefulu tausaga talu ai. Matou te taulai atu ile tuuina atu o auaunaga mo a matou tagata faatau o se mea taua e faʻamalosia ai a matou mafutaga umi. O a matou faʻaauau pea le avanoa o le vasega maualuga o le tuʻufaʻatasia ma le sili ona lelei-faʻatau ma le sili ona lelei-faʻatau atu e faʻamautinoaina malosi tauvaga i se faʻateleina o le lalolagi faatupu vevesi.

Tulaga faapitoa

Carbon Turaflurdide o se halogenited hydrocarbon ma le vailaau fomu cf4. E mafai ona manatu o se halogenited hydrocarbon, halogenited methene, pefluorocarbon, pe o se insoloan i le faatufugaga. O Carbon Turafluride o se kesi e leai se aoga ma le manogi, le lava i le vai, susulu i Benzene ma chlorofom. Mautu i lalo o le vevela vevela ma le faʻamalosi, aloese mai le malosi o povi, afi poʻo ni mea faigata. O le kesi e leai se totogi, o le mamafa i totonu o le koneteina o le a faʻateleina ai pe a aʻafia ai i le vevela maualuga, ma o loʻo iai se faʻafitauli o le faʻalavelave ma le manogi. O le vailaʻau o loʻo iai ma le le lelei. Naʻo le vai o Ammonia-Sodium Seady Reagant mafai ona galue i le potu vevela. Carbon Turafluride o se kesi e mafua ai le matagofie o le fale. E mautu lava, e mafai ona nofo i le vanimonimo mo se taimi umi, ma o se kesi malosi tele. O Carbon Tetrafluride o loʻo faʻaaogaina i le Plasma etching gaioiga o le eseese o faʻailoga. E faʻaaogaina foʻi o le laser kasa, ma e faʻaaogaina i le maualalo o le vevela, sologa, faʻamalosiʻau, ma le gaʻo mea, ma masima mo faʻatupuina e leai. O le mea e sili ona faʻaaogaina o le pasa o le kesi i le microepronictics alamanuia. It is a mixture of tetrafluoromethane high-purity gas and tetrafluoromethane high-purity gas and high-purity oxygen. E mafai ona faʻaaogaina tele i Inokion, Alecon Dioxide, Alecon Niufika, ma Apsphosphossured Gree. O le etching o ata manifinifi pei o le fangstenten ma le tungsten o loʻo faʻaaogaina tele i luga o le faʻamamaina o masini eletise, golage terket, ua unaia le gaosia o le soka, ma le faʻaititia o le galueaina o le matagaluega. Faaaogaina o se maualalo-vevela o le vevela ma le plasma faamamaina esching tekinolosi mo le tuʻufaʻatasia o aitalafu. Puipuia mo le teuina: Faleoloa i se malu, veletila i totonu o le fale teu oloa o kesi. Aloese mai le afi ma le vevela vevela. O le teuina o le vevela e le tatau ona sili atu ile 30 ° C. E tatau ona teuina ese mai fafo mai faigofie (fetaui lelei) e mafai ona maua ma povi, ma alofia palu faatasi. O le nofoaga o loʻo teuina e tatau ona tuʻuina atu i mea taumafa faʻalavelave faʻalavelave.

Talosaga:

① Redrigerant:

Tetrafluoromethane o nisi taimi e faʻaaoga o se vevela vevela vevela.

② Etching:

O loʻo faʻaaogaina i le eletise eletise na o ia poʻo le tuʻufaʻatasia ma le okesene e pei o se plasma e le o se plasma, sili-tericon diodide.

Paleni masani:

Manuia:

①ld vivigh alofa, lata ane fale;

②iso Tusi gaosi oloa;

O loo momoli mai;

④on-laina suʻesuʻega faiga mo le faʻatonutonuina i laʻasaga uma;

⑤high manaoga ma le faʻamaoni i faiga mo le tagofia o le kesi ae leʻi faʻatumuina;E lē masani ai matou faʻatinoina le matou agaga "O le aumaia o le alualu i luma, maualuga lelei le faia o ni tagata faigaluega maualuga o le fale ma le matagofie.
Vevela-faatauSaina Cf4 Fesuiai kesi, Kesi kesi, O matou o lau paʻaga faʻatuatuaina i maketi faavaomalo ma le sili ona lelei oloa. O a tatou malo e uiga mamao, mafai ona fetuutuunai ma e talia mea na fausia i le lua sefulu tausaga talu ai. Matou te taulai atu ile tuuina atu o auaunaga mo a matou tagata faatau o se mea taua e faʻamalosia ai a matou mafutaga umi. O a matou faʻaauau pea le avanoa o le vasega maualuga o le tuʻufaʻatasia ma le sili ona lelei-faʻatau ma le sili ona lelei-faʻatau atu e faʻamautinoaina malosi tauvaga i se faʻateleina o le lalolagi faatupu vevesi.